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井式退火炉机械结构特点

作者:YITONG 日期:2022-10-14 人气:6301

     坩埚升降机构:坩埚升降机构的铅垂运动采用双导柱直线轴承结构,由稀土永磁直流电机组通过齿形带、谐波减速器带动滚珠丝杆丝母副来完成,并使坩埚杆、双导柱、滚动丝杆之间的布置更加合理,使传动部件的刚性更好,传动更平稳、更精确。井式退火炉坩埚旋转电机同样采用了稀土永磁直流电机组,通过多楔带传动实现坩埚旋转,这样传递扭矩大,且减少了齿形带的振动,提高了传动稳定性。旋转密封采用磁流体密封,铅垂运动密封采用不锈钢波纹管实现之。与坩埚升降丝杆同轴安装的光电编码器精确显示坩埚位置.

     籽晶升降机构:籽晶升降机构中装有一个可以作水平随动的软轴卷扬轮。稀土永磁直流电机经过具有精密的大减速比减速箱带动滚动花键副,从而实现软轴卷扬轮的水平随动及旋转提升运动。并设置有卷轮水平随动限位功能,实现籽晶升降范围调整及籽晶升降机构的*保护限位。整个提拉机构随一空心轴旋转,本机构经过平衡调整,使提拉机构在运动过程中避免振动。与卷扬轮同轴安装有精密的光电编码器,可给计算机提供精确的提升数量值,以便对其进行精确控制。旋转电机通过多楔带实现旋转运动,旋转密封采用磁流体密封。经过优化设计后的电刷部件安装在籽晶旋转支座的外侧,便于安装调试,新型电刷架的碳刷具有弹性补偿功能,保证了信号的精密传输。

     井式退火炉机械结构特点:TDR-80型单晶炉的总体结构设计借鉴美国、德国等**的*单晶炉炉型,并结合我校单晶炉的成熟经验设计而成。首先在整体造形上,各部分的布局及操作等方面进行了优化设计。其次针对以前的单晶炉中存在的一些结构不合理的地方进行了改进,进一步提高了整机的稳定性、可靠性。